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半導體射頻電源是專為半導體與泛半導體領域、醫(yī)療設備以及工業(yè)領域等應用而設計的高頻電源設備。其本質(zhì)是等離子體配套電源，在低壓或常壓下產(chǎn)生等離子體，并利用等離子體不同的化學性能，廣泛應用于半導體工藝設備(PVD、PECVD、刻蝕、離子注入清洗)、LED、光伏、醫(yī)療等領域。
DQRF-3-13.56產(chǎn)品為全固態(tài)半導體射頻電源，采用新型功率半導體器件，具有穩(wěn)定可靠的功率放大器和功率合成技術。工作頻率為13.56MHz，額定功率為3KW，主要應用包括射頻濺射，離子刻蝕，射頻偏置，等離子體表面處理和電感耦合等離子體系統(tǒng)等。