DQRF-3-13.56半導體射頻電源是專為半導體與泛半導體領域、醫(yī)療設備以及工業(yè)領域等應用而設計的高頻電源設備。其本質(zhì)是等離子體配套電源,在低壓或常壓下產(chǎn)生等離子體,并利用等離子體不同的化學性能,廣泛應用于半導體工藝設備(PVD、PECVD、刻蝕、離子注入清洗)、LED、光伏、醫(yī)療等領域。
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